紫外激光器主要有三種。
第一種是固態(tài)、調(diào)Q Nd：YAG
激光器；其中特殊的晶體被用來把紅外1064 nm波長的光轉(zhuǎn)變成紫外335 nm波長的光。光束形狀是高斯型，所以光斑是圓形的，能量從中心到邊緣逐漸下降。由于短波長和光束質(zhì)量限制，光束可以聚焦的大小在10 μm量級。大體上，像全固化激光器一樣，紫外激光器對溫度變化是很敏感的，在冷啟動(dòng)后，需要長達(dá)30分鐘來達(dá)到足夠的穩(wěn)定性。因此，這些激光器通常有特殊的待機(jī)條件，這樣所有關(guān)鍵的元件保持在工作溫度。高重復(fù)頻率和小的聚焦光斑，開始應(yīng)用在小尺寸、高質(zhì)量的加工范圍。
第二種紫外激光器是氣體激光器，準(zhǔn)分子激光器。該激光器的波長依賴于所使用的氣體混合物類型。產(chǎn)生的光束不是圓的而是矩形的，光束截面上強(qiáng)度大體上是一致的，在邊緣上忽然下降?？梢允褂醚谀ぜ夹g(shù)來產(chǎn)生不同的幾何形狀的光斑。加工的細(xì)節(jié)可以小到幾個(gè)微米，而聚焦的光學(xué)期間和工件之間的距離可以大到50到100 mm。也可使用全息術(shù)來產(chǎn)生具體的光束能量圖樣。
第三種紫外激光器是金屬蒸汽激光器。雖然幾種其它金屬蒸汽也可以用，但是主要使用銅蒸汽。銅蒸汽激光器產(chǎn)生波長為511 nm和578 nm的輻射。此外，還利用混頻和倍頻來產(chǎn)生波長為255 nm，271 nm，289 nm的紫外輻射。光束分布是高斯分布，這使得該激光器很適用于和其他固態(tài)紫外激光器的一樣的適用范圍。
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